XH-SP-40型高频等离子电源
XC-SP-40型高頻等離子電源(50KHZ)
使用说明书
長春市星創科技電子有限公司
目录
本电源适用于真空室内等离子体放电、医疗等离子灭菌消毒、改性、聚合、分析、气象沉积、磁控溅射镀膜和科研及工业领域等。设备频率稳定输出功率连续可调、高频辐射小、使用安全、保护措施完善、具备体积小、重量轻、效率高等优点。
本电源采用了国外高频开关技术、使用最先进的开关器件IC芯片做主控制系统。经驱动、放大、功放完成高频功率输出，再由取样电路，经比较器比较，由门电路控制IC芯片完成短路保护、和过热保护报警等、并设有外控接口开关、和输出电流模拟量0-5v信号，可与上位机联动控制和保护等功能。
1、输出频率：50KHZ。
2、频率输出稳定：10-2
3、输出功率：0—600W。
4、输出电压：315V
5、最大输出电流：～1.30A(负载真空度90Pa）
6、供电方式：AC/市电220V （±不能超过20V）
7、冷却方式： 强制风冷 必须通风良好、
8、工作环境温度：-5度-- +35度
9、效率：95%
10、当用户设备电极短路时、电源设有短路保护。
11、当设备产生等离子放点弱时设有报警接口。
12、尺寸：长：220×宽320×高100
13、底座尺寸：360×220
14、净重：5.4Kg
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1.电源总开关 2.高压开关 3.电压表
4.电流表 5.工作指示灯 6.故障报警灯
7.功率调节旋钮 8.高频输出负端 9.高频输出正端
10.接地端 11.外部控制接口 12.保险丝
13.电源插孔
外部控制接口航插引脚功能：
1—2、连接外部高压开关 （1.2脚串联在高压开关HV SWITCH中，1.2脚断开设备无法开高压）。 （1脚白线 2脚红线 ）
3—4、报警接口触点、当有输出正常工作时为闭合点,当没有等离
子或弧光弱时为断开。（3脚黄线 4脚黑线）
1、按照系统连线图连接，连接示意图如下：
用户负载 |
XH-SP-40 等离子电源 |
220V/50Hz AC |
3.4脚报警信号 |
1.2脚 外部控制开关 |
7.8脚输出电压取样 |
5.6脚输出 电流取样 |
2、外壳接好保安地线后再操作，注意把仪器的输出线接到负载上时，红端接负载的阳极,黑端接负载的阴极（外壳、地）。
3、电源接到AC/220V市电上。把功率调节扭调到最小（逆时针调整）初次使用电源时，请确认高压开关处在关断的位置，确定后方可开低压。
4、开低压：开低压开关，电源前机开始工作、低压开关上指示灯亮，电压表示数000V，电流表示数000A。
5、开高压：按进高压开关、高压开关上指示灯亮、工作指示灯亮、电源内冷却风机开始工作、高压已接通。
6、调节功率：顺时针缓慢旋转功率调节扭，同时电压表和电流表应有指数在上升，当电流调到0.5A左右电压表一般在320V左右时、一般的负载均可起辉，负载的真空度可定在60-110Pa范围内（注：使用本电源参考条件：一般的灭菌设备在真空度60-110Pa范围内使用，而真空腔体容积40升的罐，一般的是输出电流设定到1.0A左右使用，应为最佳灭菌状态），仅供参考。然后可按用户需要设定好输出电流，待电源工作2分钟，使电源与负载稳定后，再设定到所需要的输出电流即可。下次开机就不需要再调节功率扭，直接开高压即可。
7、关机：先关高压、待冷却3分钟后在关低压。
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