XC-SP-100型高频电源说明书(110v)

XC-SP-100型高頻等離子電源(50KHZ)

使用说明书AC/110V型

長春市星創科技電子有限公司

目录

一、概述        

二、工作原理简述：        

三、主要技术指标：        

四、安装与使用调整步骤：        

（一）面板、背板布局：        

（二）使用操作方法        

五、一般故障查看:        

六、注意事项:        

一、概述

    本电源适用于真空室内等离子体放电、医疗等离子灭菌消毒、改性、聚合、分析、气象沉积、磁控溅射镀膜和科研及工业领域等。设备频率稳定输出功率连续可调、高频辐射小、使用安全、保护措施完善、具备体积小、重量轻、效率高等优点。

二、工作原理简述：

    本电源采用了国外高频开关技术、使用最先进的开关器件IC芯片做主控制系统。经驱动、放大、功放完成高频功率输出，再由取样电路，经比较器比较，由门电路控制IC芯片完成短路保护、和过热保护报警等、并设有外控接口开关、和输出电流模拟量0-5v信号，可与上位机联动控制和保护等功能。

三、主要技术指标：

1、输出频率：50KHz。

2、频率输出稳定：10-2

3、输出功率：0—800W。

4、输出电压：300V(负载真空度90Pa)

5、最大输出电流：～1.62A(负载真空度90Pa）

6、供电方式：AC/市电110V （±20V）

             AC/市电220V （±20V）

7、冷却方式： 强制风冷 必须通风良好、

8、工作环境温度：-5度-- +35度

9、效率：95%

10、当用户设备电极短路时、电源设有短路保护。

11、当设备产生等离子放点弱时设有报警接口。

12、尺寸：长：340×宽105×高300 

13、固定侧板尺寸：340×320

14、净重：5.2Kg

四、安装与使用调整步骤：

（一）面板、背板布局：

射频电源前后面板如图

1.电源总开关 2. 电源插孔

3.电压表 4.电流表

5.工作指示灯 6.故障报警

7.功率调节旋钮8.高频输出负

9.高频输出正   10.高压开关

11.保险丝   12. 外部控制接口

8

6

7

5

4

12

11

2

10

9

1

3

               

外部控制接口航插引脚：

4—5、连接外部高压开关 （4.5脚控制电源高压开关，4.5脚断开设备无法开高压）。 （4脚黑线  5脚蓝线 ）

2—3、报警接口触点、当有输出正常工作时为闭合点,当没有等离

子或弧光弱时为断开。（2脚红线  3脚白线）

1—7、电流取样，当输出电流表指示为1.3A时5-6脚为1.3V左右电压，（1脚负压 黄线 7脚正压 绿线）

（二）使用操作方法

1、按照系统连线图连接，连接示意图如下：

2、外壳接好保安地线后再操作，注意把仪器的输出线接到负载上时，红端接负载的阳极,黑端接负载的阴极（外壳、地）。

3、电源接到AC/220V市电上。把功率调节扭调到最小（逆时针调整）初次使用电源时，请确认高压开关处在关断的位置，确定后方可开低压。

4、开低压：开低压开关，电源内冷却风机开始工作、低压开关上指示灯亮，电压表示数315V左右。

5、开高压：按进高压开关、高压开关上指示灯亮、工作指示灯亮、高压已接通。

6、调节功率：顺时针缓慢旋转功率调节扭，同时电压表和电流表应有指数在上升，当电流调到0.5A电压表一般在300V时、一般的负载均可起辉，负载的真空度可定在60-110Pa范围内（注：使用本电源参考条件：一般的灭菌设备在真空度60-110Pa范围内使用，而真空腔体容积100升的罐，一般的是输出电流设定到1.25A左右使用，应为最佳灭菌状态），仅供参考。然后可按用户需要设定好输出电流，待电源工作2分钟，使电源与负载稳定后，再设定到所需要的输出电流即可。下次开机就不需要再调节功率扭，直接开高压即可。

7、关机：先关高压、待冷却3分钟后在关低压。

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