XC-SP-100型高频等离子电源
XC-SP-100型高頻等離子電源(50KHZ)
使用说明书
長春市星創科技電子有限公司
目录
本电源适用于真空室内等离子体放电、医疗等离子灭菌消毒、改性、聚合、分析、气象沉积、磁控溅射镀膜和科研及工业领域等。设备频率稳定输出功率连续可调、高频辐射小、使用安全、保护措施完善、具备体积小、重量轻、效率高等优点。
本电源采用了国外高频开关技术、使用最先进的开关器件IC芯片做主控制系统。经驱动、放大、功放完成高频功率输出，再由取样电路，经比较器比较，由门电路控制IC芯片完成短路保护、和过热保护报警等、并设有外控接口开关、和输出电流模拟量0-5v信号，可与上位机联动控制和保护等功能。
1、输出频率：50KHZ。
2、频率输出稳定：10-2
3、输出功率：0—450W。
4、最大电压：330V
5、最大输出电流：1.5A(负载真空度90Pa）
6、供电方式：AC/市电220V （±20V）
7、冷却方式： 强制风冷 必须通风良好、
8、工作环境温度：-5度-- +35度
9、效率：95%
10、当用户设备电极短路时、电源设有短路保护。
11、当设备产生等离子放点弱时设有报警接口。
12、尺寸：长：260×宽484×高130
13、底座尺寸：260×440
14、净重：6.8Kg
射频电源前后面板如下图
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1.电源总开关 2.高压开关 3.电压表
4.电流表 5.工作指示灯 6.故障报警灯
7.功率调节旋钮 8.高频输出负端 9.高频输出正端
10.接地端 11.外部控制接口 12.保险丝
13.电源插孔
外部控制接口航插引脚：
1—2、连接(高压开关)
3—4、报警接口、当有输出正常工作时为闭合点,当没有等离
子或弧光弱时为断开。
5-6、电流取样、当输出电流表指示为1.4A时5-6脚为DC/1.4V电压。（5脚黑线负压、6脚白线正压）
7-8、电压取样、当输出电压表指示为300V时7-8脚为DC/3V（7脚黄线负压、8脚绿线正压）
注意：电源功率调节旋钮的机扭是保护装置，不能正常调节功率，请先逆时针旋转机扭直至摘下，然后用螺丝刀调节里边的电位器，调整到固定的电流后再将机扭拧上，以防止到客户现场后被误操作。
（二）使用操作方法
1、按照系统连线图连接，连接示意图如下：
用户负载 |
XC-SP-100 等离子电源 |
220V/50Hz AC |
1.2脚 外部控制 |
3.4脚报警信号 |
5.6脚输出 电流取样 |
2、外壳接好保安地线后再操作，注意把仪器的输出线接到负载上时，红端接负载的阳极,黑端接负载的阴极（外壳、地）。
3、电源接到AC/220V市电上。把功率调节扭调到最小（逆时针调整）初次使用电源时，请确认高压开关处在关断的位置，确定后方可开低压。
4、开低压：开低压开关，电源内冷却风机开始工作、低压开关上指示灯亮，电压表指示数000V。电流表表指示数0.00A。
5、开高压：按进高压开关、高压开关上指示灯亮、工作指示灯亮、电压表指示数320V。电流表表指示数0.00V。
高压已接通。
6、调节功率：顺时针缓慢旋转功率调节扭，同时电压表和电流表应有指数在上升，当电流调到0.4A时、一般的负载均可起辉，负载的真空度可定在60-110Pa范围内（注：使用本电源参考条件：一般的灭菌设备在真空度60-110Pa范围内使用，而真空腔体容积100升的罐，一般的是输出电流设定到1.2A左右使用，应为最佳灭菌状态），仅供参考。然后可按用户需要设定好输出电流，待电源工作2分钟，使电源与负载稳定后，再设定到所需要的输出电流即可。下次开机就不需要再调节功率扭，直接开高压即可。
7、关机：先关高压、待冷却3分钟后在关低压。
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