RF100W射频电源说明书
RF 100W型射频电源采用先进的射频电源技术和进口元器件，以及精心的设计，保证了整机的可靠性，稳定性。其特点具有超长寿命，功率输出稳定，效率高，整机体积小，电压低，安全性高，操作便捷，无需预热，频率漂移小，低谐波。
本产品设有完善的保护功能和控制功能。内置过热保护、过流保护、驻波保护；射频输出具有功率连续输出和脉冲调制两种形式；即可以手动操控也可以外部操控。
本电源可广泛应用于真空室内等离子放电、改性、聚合、分析、清洗、气象沉积、镀膜、美容、医疗等离子体消毒等行业。
该电源由晶体振荡，电子交联放大、驱动级、功放等电路组成。并配有阻抗匹配网络，使电源与用户的负载达到最佳匹配状态，配有双指针功率表，可直读输出功率和反射功率值。同时可观察到电源与负载是否匹配良好，设备电控部分采用自锁式开闭电路。
输出功率： 100W ×（1 ~ 100%）,精确到1瓦，连续可调。
信号形式： 连续波，可加脉冲调制
输出匹配阻抗范围：（2.7～45）Ω j（0～70）Ω
输出信号频率： 13.56MHz ±0.005%（频率：2MHZ、3MHZ、7MHZ、13.56 MHz、27.12 MHz、40.68MHz、（或其它频率）定制）
功率稳定度：≤ ± 0.5％
谐波输出：≤ -50dB
寄生调制：≤ 1％
环境温度：0 ~ 40℃
相对湿度：< 85%
冷却方式：强制风冷
供电：220V ±15V ,50Hz/60Hz 单相交流
输出接口：SL-16标准同轴接头
长寿命: 进口晶体管，24小时连续工作，使用30年以上
整机效率：≥ 85％
操控模式：手动操控
显示：正反向输出功率指针表显示；
尺寸: 275*175*105mm
射频电源前后面板如下：
|
1 |
|
|
|
3 |
|
4
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
1.匹配调节Ⅱ 2. 匹配调节Ⅰ 3. 功率调节
4.功率表 5. 射频输出 6. 电源开关
7. 保险丝 8.AC/220V接口 9.外部控制接口
1.按照系统接线图连接，连接示意图如下：
2. 在低输出功率下。调整“匹配调节Ⅰ”和“匹配调节Ⅱ”，观察功率表，调整到反射功率较小、入射功率较大的状态，功率表输出表针上升而反射指针下降，反射指针降至最小点（并有一个同时点）为最佳匹配点。调节完成之后，调整“功率调节”旋钮，增加输出功率，同时微调匹配网络的“匹配调节Ⅰ”和“匹配调节Ⅱ”，使其反射处于最佳匹配状态。
1. 使用时保持射频电源进出风口畅通，以免造成散热不良，损坏电源。
2. 开机前检查同轴电缆是否短路，负载是否可靠连接，不可负载短路时开机，否则将损坏电源。
3. 在系统初始调试或更换系统终端时，应在射频电源输出功率满功率的1/2左右，仔细调节匹配网络，将反射功率调至较小，然后才可进一步将功率加大。否则，驻波过大，将引起频繁驻波保护，系统不能正常工作，甚至损坏电源。
4. 系统终端有变化时，在每次使用前，应该将“功率调节”调旋钮调至最小，重新调节匹配状态。
长春市星达电子仪器厂
长春市星创科技电子有限公司
厂址：吉林省农安县宝塔街193号
电话/传真：+86-0431-83219223
网址：www.ccxddz.com
E-Mail:ccxddz@163.com
